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課程名稱 |
電漿材料製程技術
Plasma Materials Fabrication Technology |
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開課學期 |
108-1 |
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授課對象 |
工學院 應用力學研究所 |
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授課教師 |
陳建彰 |
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課號 |
AM7178 |
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課程識別碼 |
543 M5410 |
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班次 |
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學分 |
3.0 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期三2,3,4(9:10~12:10) |
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上課地點 |
應109 |
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備註 |
總人數上限：60人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1081AM7178_PlasmaMat |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
低壓非熱平衡式電漿已廣泛用於半導體、發光二極體、顯示器、太陽能電池、微機電元件、微感測器等製程。電漿同時也被用於機械工具的表面鍍膜、基板清潔、高分子材料的表面改質等等。電漿技術是現今高科技工程技術不可或缺的工具。近年也常壓(大氣)電漿的發展，於生醫農業方面也有相當的研究進展。
本課程將進行電漿材料製程技術進行討論。內容包括電漿基本原理、低壓非熱平衡式的電漿材料製程、常壓(大氣)電漿的相關技術等等。並進行各領域電漿應用的探討。課程中也將分組進行常壓(大氣)電漿實作能源元件、並針對所選的課題進行上台報告及討論。 |
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課程目標 |
建立學生電漿技術的基礎知識。並透過分組實作，讓學生深刻了解電漿技術於能源元件製程的應用。學生也將透過所選專題，深入了解電漿技術。 |
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課程要求 |
修習本課程學生必需進行一次小考、分組實作並繳交實驗報告、並進行專題報告。 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
1. Hong Xiao, “Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology”, Society of SPIE, 2012.
2. M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg, “Principles of Plasma Discharge and Materials Processing”, John Wiley & Sons, Inc. 2005.
3. Journal Papers and lecture notes
4. N.N. Misra, O. Schluter, P.J. Cullen, “Cold Plasma in Food and Agriculture”, Elsevier Inc. 2016.
5. R. Hippler, H. Kersten, M. Schmidt, and K. H. Schoenbach, “Low Temperature Plasmas – Fundamentals, Technologies, and Techniques”, Wiley-VC, H2008.
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參考書目 |
待補 |
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
上台報告 |
20% |
電漿相關主題口頭報告、需繳交投影片(pdf or ppt) |
2. |
實作報告 |
20% |
大氣電漿製程用於超級電容製作實驗報告 |
3. |
考試 |
60% |
單選題及複選題考試 |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
09/11 |
課程簡介及實作分組 |
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第2週 |
09/18 |
常壓電漿分組實作 |
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第3週 |
09/25 |
常壓電漿分組實作及超級電容製作 |
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第4週 |
10/02 |
超級電容製作 |
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第5週 |
10/09 |
超級電容量測 |
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第6週 |
10/16 |
實驗結果分析 |
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第7週 |
10/23 |
電漿基礎 |
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第8週 |
10/30 |
電漿基礎 |
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第9週 |
11/06 |
電漿基礎，PVD (including PEALD)、CVD |
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第10週 |
11/13 |
常壓(大氣)電漿 |
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第11週 |
11/20 |
常壓(大氣)電漿 |
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第12週 |
11/27 |
介電質放電電漿專題 |
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第13週 |
12/04 |
考試 |
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第14週 |
12/11 |
學生專題報告 |
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第15週 |
12/18 |
學生專題報告 |
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第16週 |
12/25 |
學生專題報告 |
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